引言

鍍 Ag 樣品, 邊長(zhǎng)~15 mm. 用兩種儀器, Omicron 和QuanX進(jìn)行分析. Omicron 用于觀測(cè)Ag 的分布, 而 QuanX 用于測(cè)定鍍層厚度。

步驟

儀器: QuanX EC.

Omicron 系統(tǒng), 100 W Mo靶 X-射線管, 8濾光片, 分辨率優(yōu)于175 eV的 Si(Li) LN檢測(cè)器, 使用自動(dòng)精密XYZ樣品臺(tái).

激發(fā)條件:

用了三種分析時(shí)間 5, 10 和 30 秒以研究對(duì)精度的影響.

定量分析: QuanX 操作軟件采用基本參數(shù)法(FP)計(jì)算鍍層厚度.

* 可以使用與分析樣品的結(jié)構(gòu)和成份不同的標(biāo)樣.

? 可以用純?cè)貫闃?biāo)樣進(jìn)行”半無標(biāo)樣”分析; 甚至在無純?cè)貢r(shí)以相鄰元素的標(biāo)樣為參考. 本實(shí)驗(yàn)中, 以

Micromatter Co.的薄膜Ag 標(biāo)樣進(jìn)行校正.

結(jié)果

QuanX測(cè)定厚度

結(jié)果如下表1. 即使分析時(shí)間僅5”, 其精度也優(yōu)于1% (rsd).

Omicron 測(cè)定表面分布

圖 1. Zr, Ag 和 Sn 的300微米分辨率分布圖

圖2. La, Au 和 Pb的300微米分辨率分布圖

采集了Zr, Ag, Sn, La, Au, 和 Pb的元素分布圖. 

在 Ag 的分布圖中可以明顯地看出有缺陷處, 有些地方厚度不勻(紅色至橙色).

結(jié)論

分析結(jié)果表明Thermo NORAN 的兩種EDXRF 儀器可以成功地應(yīng)用并具有不同的功能. QuanX能快速提供高精度的厚度結(jié)果. Omicron –可以高分辨率地觀測(cè)到表面的缺陷(否則會(huì)被忽略) , 其定量分析速度和準(zhǔn)確度與QuanX類似.