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XRF應(yīng)用介紹-法聚酯表面Si 鍍層厚度分析

發(fā)表時(shí)間:2022-09-05      
瀏覽次數(shù):6078      
作者:倫琴實(shí)驗(yàn)室



為了評(píng)價(jià)QuanX 系統(tǒng)對(duì)3M公司感興趣應(yīng)用的性能, 分析了一套10個(gè)樣品.


步驟

儀器: QuanX

樣品制備: 不需要. 樣品是在聚酯表面上有一富含Cl 的鍍層, 再鍍Si. 樣品圓形, 大小適合塑料樣品杯, 直接放在樣品盤上.

激發(fā)條件: 由于其物理性質(zhì), Si 這樣的低原子序數(shù)的元素應(yīng)使用低電壓, 高電流的激發(fā)條件. 計(jì)數(shù)率通量高計(jì)數(shù)會(huì)高些, 低則分辨率好些測(cè)量時(shí)間要長(zhǎng)些. 在本實(shí)驗(yàn)中, 感興趣元素濃度低, 峰高比分辨率更加重要. 為了求得更好的精度, 試驗(yàn)了兩個(gè)條件.


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譜處理: 譜先經(jīng)數(shù)字濾波扣除本底, 再用XML峰擬合法提取峰強(qiáng)度.


結(jié)果

精密度

對(duì)樣品1-2進(jìn)行10次測(cè)量, 得到如下結(jié)果:

表 1.

微信截圖_20220905110616.png


很明顯, 計(jì)數(shù)率通量中等時(shí)SD較小, RSD較大, 而計(jì)數(shù)率通量高時(shí)SD較大但RSD較小. 這樣, 在未知樣分析時(shí)就采用高計(jì)數(shù)率通量。

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樣品 1-2 是蘭色, 2-B 紅色和6-5 黃色. Si K道的計(jì)數(shù)為4760.



結(jié)論

分析結(jié)果表明QuanX 系統(tǒng)具有精密, 快速測(cè)量低濃度Si 的能力.


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